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《2107年航空智能装备学术论文集》2017年
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一种快速响应的TiO_2米湿度传感器研究

杜鹏   苏长远   陈棪   刘晓宁  
【摘要】:穿越水热法,名将TiO_2米阵列定向生长在Au插指电极之间,米棒沿着金电极表面向外生长,米阵列疏松多孔,直径大约20 nm,长大约500 nm。并分别在6%~97%的湿度条件下测量样品的交流电容(C)和交流阻抗(Z)扭转达到3个数量级。最好的线性性和最小的湿滞是测量频率为400Hz时的交流阻抗,这会儿纳米湿度传感器的号召力和恢复时间分别是1 s和3 s,明确比纳米颗粒型的湿度传感器具有更高的新鲜度和响应特性,这可能是出于TiO_2米阵列的布局得以形成较好的水汽通道,有利于水分子进出,之所以湿度传感器有着较好的新鲜度和响应速度。
【笔者单位】: 飞行工业成都凯天电子股份有限公司
【列入号】:TP212;TB383.1;TH765.5

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